光谱共焦传感器位移模式是专门用来测试样品表面点的高度的。

位移数据使用30比特的数字分辨率传输的。

当测量一个不透明样品（金属，纸，陶瓷……）剖面高度时，使用位移模式就很直观简单。

当测量薄的透明样品或者有涂层样品时，就会发生传感器同时得到两个信号的情况：涂层表面反射一个信号，底层反射第二个信号。

传感器默认选择最强的信号并且忽略其它收到的信号，不管其谱峰的相对位置。在一些应用中这种处理不是最佳：在上面的例子中，底层材料的反射率一般比涂层的反射率强，而我们可能需要测量的是涂层表面。高级主题会给出第一峰模式的在这种应用中的解决方法。