厚度模式是一个附加的测量模式，专门用来测量透明样品的厚度。

这种模式下传感器同时测量透明样品两面的位置，然后通过两个位置的不同计算出厚度。测量厚度比测量位移更难，精确度也下降。厚底测量也受一些限制。为了获得在该模式下的计量性能，应该执行一个特殊的叫做“厚度校准”的程序。厚度校准是用户来执行的。这个过程需要一个厚度标准。

测量数据

在样品的每一个点传感器都要同时测量几个数据。 在位移测量模式下测量数据有：

√被测样品点的距离

√反回的散射光束的光强

在厚度模式下测量数据有：

√样品第一个面的距离和光强

√样品第二面的距离和光强

√厚度

除了测量数据外传感器还传出一些附加数据（计数，状态……）

传感器可以设置传输一些或全部这些数据