ERT光谱共焦传感器是一种精度可达次微纳米量级的非接触式位移量测系统， 可精准测量漫反射/镜面反射及透明多层材质的位移,厚度,也适合深孔/盲孔工件等运用。
 

  光谱共焦传感器优势及特点：
 1、稳定量测各类材质，例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等。
 2、适用于各种形貌（包含深孔/斜面/弧面）之特征尺寸量测，例如高度/段差/厚度/平面度/轮廓度等。
 3、高温高压等严苛操作条件下亦能适应正常使用。
 4、测头结构轻巧，易整合于各行业之自动化测量应用。
 5、结构轻巧且内部不含电子零件而不受环境干扰影响。
 6、独特多层材质量测算法,可量测透明／半透明多层材质间之厚度或间隙。

一站式自动化测量

适用多种高精度测量场景

光谱共焦测量系统适用于3D粗糙度、尺寸测量和3D形貌测量等测量任务，广泛应用于以下微观精密测量领域：

? 玻璃（浮法玻璃在线厚度检测，3D测量）

? 微电子（粗糙度，3D测量，缺陷检测）

? 机械（粗糙度，摩擦磨损，3D测量，腐蚀分析）

? 光学镜片（粗糙度，3D测量）

? 钟表制造（平面度，粗糙度，厚度）

? 核能燃料（粗糙度，摩擦磨损，3D测量，腐蚀分析）