KOFLOC DF-550C数字质量流量控制器 半导体工艺气体提取高纯多晶硅质量流量控制器高性能数字MFC“DF-250C系列”的全金属型号“DF-550C”发布！
金属密封结构可以测量和控制半导体工艺气体和其他腐蚀性气体。

• 通过新型螺线管改善响应速度，在所有流量区域实现1秒以内高速响应
• 不锈钢密封使其支持高活性气体
• 10SCCM~10SLM序列
• 可通过2个通信端口进行菊花链连接
• 配备RS-485通讯功能标准
• 支持RoHS.CE规格

KOFLOC DF-550C数字质量流量控制器 半导体工艺气体提取高纯多晶硅质量流量控制器 DF-550C标准规范

传感器方式		热绕组传感器
阀门方式		比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体（* 1）		N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未记载的气体换算成N2进行校正）
流量范围（* 2）		10 SCCM~10 SLM
控制范围		2~100％（F.S.）
响应能力		总流量控制范围 1sec内（wihtin±2％F.S.）
		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
精度（* 3）		±1.0%F.S.
再现性		±0.25%F.S.
工作压差（* 4）		50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa）
入口压力		500kPa(G)
耐压		980kPa(G)
He泄漏率		1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度	使用温度	5～50℃
	精度保证温度	15～35℃
	允许储存温度	-10～60℃
允许环境湿度		10～90%RH （无结露）
气体接触材料		SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co
电气连接		D-sub 9针KFC Standard（依据SEMI standard），RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号		0~5 VDC（输入电阻约1MΩ）
流量输出信号		0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上）
数字通信		使用RS485旋转开关设置地址：最多99台（9600 bps）
所需电源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接头		相当于1/4 VCR
安装姿势		推荐水平方向
重量（* 9）		约1100g

（* 1）应为干燥气体，无腐蚀性成分、灰尘、雾气等的干净气体。

（* 2）流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc / min和L / min的值。

（* 3）对于流量范围（满量程）的精度。

（* 4）工作压差可能因规格而异。

KOFLOC DF-550C数字质量流量控制器 半导体工艺气体提取高纯多晶硅质量流量控制器尺寸图

接线连接