性能
- 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
- 可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
- 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
- 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
- 可重复性：0.2%满量程
- 标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
- 无需预热时间
商铺名称：北京芯笙微纳电子科技有限公司
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商品详情
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氮气200SCCM气体质量控制器 美国ALICAT氮气质量流量控制器
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