氧气流量100SCCM氧气质量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2气体流量控制器

阀门选项

您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持性能。

• MC系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCP系列—选配孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
• MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCS系列）

MC系列气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）