二氧化碳气体浓度稀释设备SSGM：整套装置是以质量流量控制器控制气体流量，混配稀释所需之气体浓度及流量，可多组分装流量控制器。稀释范围从1-5000倍（可按需定制），流量输出0.5-1000L/min，具有两元或多元稀释模式，可设备中自行选择应用模式。装置中采用高精度的热式流量控制器，并经高精度流量计校准，流量偏差可控制在±0.5%以内，重复性小于±0.2%，稀释设备的精度优于±1%。