商铺名称：杭州光研科技有限公司
联系人：俞珩（先生）
联系手机：
固定电话：
企业邮箱：yh@hzgy-tech.com.cn
联系地址：浙江省杭州市萧山区建设二路858号集成电路设计产业园D-302
邮编：
联系我时，请说是在口碑仪器网上看到的，谢谢！
商品详情
可对应300mm硅片的背面的缺陷检测。
【背面检测】对硅片外周（Bevel）进行非接触式高速检测。 画像处理根据预先设定的参数条件自动提取各种缺陷，并判定是否合格。当线性光照射硅片时，正反射光与入射角相同的角度反射。如果硅片表面凹凸不平，光就会散射并出现多个角度的反射光。通过接收向上的散射光来检测硅片上的凹凸缺陷。
【缺陷种类】：划痕，颗粒，GM， E to E ，Pin mark，Hola，Susceptor Scrach
【生产能力】：根据缺陷种类不同每片检测最快只需 30S。
【菜单功能】：可编辑检测菜单，并进行参数保存与导出。
【检测对象】：8~12寸 抛光片
【检测范围】：背面缺陷
在线询盘/留言
