工厂专业回收／出售国内外各种型号真空镀膜机/磁控电镀机/ITO电镀膜线500/900/1100/1300/1350/1550/1600/1800/2050/2700（莱宝  光弛  韩一  友诚  龙翩  昭和 南光等品牌），有专业的技术团队，含安装调试，保修，培训，设备可租可售可代加工产品，旧设备还可以折扣置换机械，欢迎来电咨询:181  030  45976

主要由真空室、蒸发源、膜厚监测仪、样品台、真空获得系统、真空测量系统、气路系统、 PLC+触摸屏自动控制系统等组成。

主机与控制一体化设计，操控方便;结构紧凑，

HDPE占地面积小。

主要用途:

1.开发纳米级单层、多层及复合膜层等。

2.制备金属膜、合金膜、半导体膜、陶瓷膜及介质膜等，例:银、铝、铜、C60、BCP......

应用领域:

1.高校、科研院所的教学、科研实验及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。

2.钙钛矿太阳能电池、OLED、OPV太阳能电池等行业。

产品参数

外形 尺 寸 3100mm(W)*2800mm(D)*3200mm(H)

电 压 380V

功 率 ≤10.5KW

基 片 台 140mm*140mm(可根据客户基片定制)

真 空 室 1500mm(W)*1500mm(D)*1500mm(H)

SUS304不锈钢方形腔体，前后开门结构，可独立使用，也可与手套箱对接使用

真空系统 分子泵+机械泵

极限真空 优于3*10·5Pa

恢复真空时间 达到7x10-4Pa≤25min

金属蒸发源 2-4组蒸发源(可选)

有机蒸发源 束源炉式有机蒸发源自带控温0-700℃可调

2-4组蒸发源(可选)

电控 系 统 PLC触摸屏控制，程序互锁保护及异常报警

选 配 冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷

掩膜板mask/蒸发电源/钨舟钼舟