ERT超小型光谱共焦位移传感器，外观直径为4mm、6mm、8mm

●非常适合用于安装空间有限的场合

●可用于对小孔内径进行测量

●小至6mm的外径，但其可以非常方便地集成于在线设备上

(1)表中给出的数值是典型值，LHCLO，LHCL2，LHCL3，LHCL4有±3%的偏差；LHCL1，LHCL5，LHCL6有±6%的偏差；

(2)最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87。：

(3)在量程中间位置时的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程远端光斑更大，从中心分别到近端远端差异10%左右；

(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量，是相对单位量，此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时，选择低光度收集率的型号，为了避免饱和，测量扩散或低反射的样品时，选择具有高光度收集率型号，以避免一个非常低的信号与噪声比例；

(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心，以最佳的速率进行测量，内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量，并对应交付每个传感器的校准证书；

(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准，由所述传感器测量距离时，在整个测量范围内的最大误差。使用以下设置：自动适应LED模式，最优的速度，倾角为0。，内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量，并指定每个传感器的校准证书交付；

(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性，表中所给的值是典型的；

(8)在最佳的速度下，测量范围的中心，测量的典型值，不加平均。折射率=1.5个样本（测量空气间隙应除以1 5的厚度时）；

(9)可测半径为测头直径加工作距离。

注：以上参数如有变化，恕不另行通知。