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使用传统三角测距法时,随着高度不同,测量位置或光斑大小会发生改变。而共焦位移传感器的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或翘曲,也可进行高精度的测量,测量点不会改变。
三角测距是利用感光元件(CCD/CMOS)上的光点位置变化来测量被测物的距离变化。虽然通过从感光波形计算出峰值或重心等特征量可减小误差,但从原理上,材质不同或对象物倾斜会导致感光波形出现位置偏差或波形混乱,从而产生测量误差
被测物倾斜角度过大时,受发光的像差影像, 由于其同轴共焦原理,所以无像差干扰问题,即使有测量值,也有可能和真值有很大偏差。即使被测物有过大倾角也不会影像测量精度。
ERT光谱共焦WCLS提供了不可思议的高速3D检测效果,它能做到以每秒384,000次的频率进行纳米级精度的测量。得益于其一体化的设计,WCLS能够方便地集成入产线上的检测设备,包括恶劣的生产环境中。传感器出色的动态测量范围和信噪比使WCLS能够轻松地测量任何类型的材料-包括磨光和高度倾斜的表面。高性价比的WCLS传感器无疑是告诉3D检测的最佳选择。
高速测量:2000条轮廓/秒,采样频率384,000个点/秒