? ? ??? ? ? 法国光谱共焦位移传感器分点式传感器、线式传感器、多点组面式传感器、光谱显微镜。
光谱共焦的优势:
1,坚固的结构,使用寿命长;
2,纳米级分辨率,对周围环境的光照不敏感,与被测体反射系数无关
3,大量可供选择的量程范围(100 微米至42 毫米范围内),
4,易操作且动态测量可以达到200Hz到10000Hz的测量频率
5,完美匹配自动化的需求,无需要经过专业的培训也能得到可靠的测量结果;
6,与三角反射法不同,几乎无反射角要求,可用于小孔深度测量;
7,可进行平整度的测量,高度或位置的测量;
8,可测量几乎所有类型的材料(金属、玻璃、陶瓷、半导体、晶体)
9,可测量抛光和粗糙表面。
10,可测多层透明物体的厚度。
? ? ? 总结:可以对任何材质/任何颜色/任何表面物体的表面形貌、表面粗糙度、表面微小划痕、外形轮廓、三维测量段差高度、透明玻璃厚度、薄膜厚度、透明物体多层厚度等方面测量!
下图是3维形貌的测量