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参数 | 单位 | 典型值 |
流量范围 | sccm | 20,50,100,250,1000,3000 |
目标气体 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
流量精度0-10% | % F.S | 0.2(250sccm,N2,4bara) |
流量精度10-100% | % O.R | 1(250sccm,N2,4bara) |
传感器响应时间 | ms | 4 |
供电电压 | V | 24 |
模拟量输出 | V | 0…5 |
数字量输入输出 | RS-232 EIA |