性能/参数

LK2系列质量流量控制器

流量范围

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量单位如kg/h、g/min等

标定气体

内置90条气体可选择

精度(调零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(调零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重复性

±0.2%FS

漂移(零点/满量程)

0.02% F.S/oC/Atm

工作范围

0.5-100%

响应时间

100毫秒(调整)

启动预热时间

1秒内

标准工况

25oC & 14.696 psia，可自定义修改

工作温度范围

-10~-50℃(另有高温订制品)

工作湿度范围

0-100%RH(非冷凝)

工作压力

10Bar

安装方向

任意

阀门状态

常闭

材质

SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON

显示屏

背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度

数字信号

标准RS232

选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模拟信号

标准0-5V/1-5V/0-10V

选配:4-20mA

第二路模拟信号

标准0-5V/1-5V/0-10V

选配:4-20mA

电气接口

标准圆形8芯

选配:圆形6芯、DB9、DB15

供电电压

+24VDC

消耗电流

20SLPM以内：250mA

50SLPM以内：750mA

注：5000SLPM消耗2000mA电流

针脚/颜色

定义

1针(黑色)

4-20MA输出信号，如选择0-5V/10V   连接6针

2针(棕色)

不用连接,如选第二路   输出信号可接

3针(红色)

RS232 输入串口RS232   输入串口

4针(橘色)

模拟设定信号(订货时确认信号类型)

5针(黄色)

RS232 输出串口

6针(绿色)

0-5V或0-10V输出信号

7针(蓝色)

+24VDC供电

8针(紫色)

接地(同时作用于电源、通讯、模拟)

流量

压损(PSID),排放大气中

接口

0.5-50SCCM

1.0

1/8NPT母螺纹

100-500SCCM

1.0

1SLPM

1.5

2SLPM

3.0

5SLPM

2.0

10SLPM

5.5

20SLPM

20.0

50SLPM

2.0

1/4NPT母螺纹

100SLPM

3.2

250SLPM

2.4

1/2NPT母螺纹

500SLPM

6.5

3/4NPT母螺纹

1000SLPM

14.0

1500SLPM

17.0

2000SLPM

28.6

3000SLPM

16.8

1-1/4NPT母螺纹

5000SLPM

14.1

2”NPT母螺纹