回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
产品价格:¥1.00(人民币)
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    商品详情

      一、设备特点:

      1、本设备提供一个五温区的超长温场,五个温区可独立控制

      2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,上下可电动开启。

      3、流量计和加热采用模块化设计,便于维护保养。

      4、加热元件采用康泰尔掺钼合金电阻丝,zui高使用温度可以达到1200度,使用寿命长,温场流场均匀。

      5、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。

      6、设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便。

       

      二、设备组成:

      加热系统,炉管转动系统,螺旋送料系统、供气系统、真空系统、工控及操作系统。


      1、加热系统:

      该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

      高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

       

      2、炉管转动系统:

      炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。

       

      3、螺旋送料器:

      先将样品储存于样品罐中,通过螺旋送料器将样品送入石英管内。样品送完之后送料杆退回到原始位置。周而复始,达到自动送料。

      4、供气系统:

      供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成,触摸屏控制。

      5、真空系统:

      真空机组,内部安装BSV-60机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。

       

       

      三、加热主体设备技术参数:

       

      腔体尺寸

      外径Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可选 (中间异型区域尺寸)

      炉膛保温材料

      氧化铝纤维

      表面温度

      ≤60℃

      加热元件

      进口KTL电阻丝

      加热区数量

      5区,每个温度独立控制,使温场均匀性更好

      加热区长度

      300+300+300+300+300mm

      恒温区长度

      真空条件两端加氧化铝管堵的情况下,两个温区设定同一温度是恒温区可达1200mm

      zui高温度

      1200℃

      建议长时间使用温度

      <1100℃

      控温精度

      ±1℃

      升温速率

      0-20℃/min,建议升温速率10℃/min

      设备功率

      28KW

      设备工作电源

      380V/50HZ

      热电偶型号

      K型

      控制器

      可编程控温仪表,PID调节,升、降保温全自动

      控温方式

      人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制

      无纸记录

      内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据

      结构描述

      设备可对半电动开启,加快冷却速度、表面温度低于60℃

      转动密封收集系统

      炉管一端配有不锈钢密封可转动水冷法兰、螺旋送料装置

       

      四、3路供气系统参数

      连接头类型

      双卡套不锈钢接头

      标准量程(N2)

      500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型号根据要求定制)

      zuida压力

      3MPa

      接口

      Φ6

      显示

      液晶屏显示

      工作环境温度

      5~45高纯气体

      内外双抛不锈钢管

      Φ6

      压力真空表

      -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

      截止阀

      Φ6卡套接头

       

      五、真空机组参数:

      空气相对湿度

      ≤85%

      工作环境

      5℃~40℃

      工作电电压

      220V±10%  50~60HZ

      功率

      1千瓦

      抽气速率

      60m3/h

      极限真空

      5X10-1Pa

      工作压力范围

      1.01325X105~1.33X10-2Pa

      耐压值

      0.03MPa

      容油量

      1.1L

      进气口口径

      KF40

      排气口口径

      KF40

      连接方式

      采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

      电阻真空计参数:

      配用规管:

      ZJ-52T电阻规,

      测量范围:

      10 5 ~10 -1 Pa,

      测量路数:

      1路

      控制范围:

       5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

      控制方式:

      继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

      电源:

      90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

      功耗:

      20W

       

       


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