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日立高新球差校正扫描透射电子显微镜产品简介
专用扫描透射显微镜HD-2700，配备了与德国CEOS GmbH公司（总经理Max Haider先生）共同开发的球差校正仪，显著提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差，使其与标准型号显微镜相比，分辨率提高了1.5倍，同时，探针电流提高了10倍。
该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪，进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时，该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置，可以以后加配球差校正进行升级。
日立高新球差校正扫描透射电子显微镜特点
高分辨率扫描透射电子显微镜成像
HAADF-STEM图像0.136nm，FFT图像0.105nm（高分辨率镜头（*））
HAADF-STEM图像0.144nm（标准镜头）
明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm（w/o球差校正仪）
高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍
元素面分布更迅速及时
低浓度元素检测
操作简化
自动图像对功能
从样品制备到观察分析实现无缝连接
样品杆与日立聚焦离子束系统兼容
配有各种选购件可执行各种评估和分析操作
同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布（*） 和DF/EELS面分布（*）图像。
低剂量功能（*）（使样品的损伤和污染程度降至zui低）
高精度放大校准和测量（*）
实时衍射单元（*）（同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案）
采用三维微型柱旋转样品杆（360度旋转）（*），具有自动倾斜图像获取功能。
ELV-3000即时元素面分布系统（*）（同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像）
（*） 选购件
技术指标
HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜
|
项目 |
描述 |
|
| 图像分辨率 |
w/o球差校正仪 |
保证 0.204nm（当放大倍数为4,000,000时） |
| w球差校正仪 | 保证 0.144 nm（当放大倍数为7,000,000时）（标准镜头） | |
|
保证 0.136nm（HAADF图像） 保证0.105 nm（通过FFT）（当放大倍数为7,000,000时）（高分辨率镜头（*）） |
||
| 放大倍数 | 100倍 至 10,000,000倍 | |
| 加速电压 | 200 kV, 120 kV （*） | |
| 成像信号 |
明场扫描透射电子显微镜：相衬图像（TE图像） 暗场扫描透射电子显微镜：原子序数衬度图像（Z衬度图像） 二次电子图像（SE图像） 电子衍射（*） 特征X射线分析和面分布（能谱分析）（*） 电子能量损失谱分析和面分布（EV3000）（*） |
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| 电子光学系统 | 电子源 | 肖特基发射电子源 |
| 冷场致发射器（*） | ||
| 照明透镜系统 | 2-段聚光镜镜头 | |
| 球差校正仪（*） | 六极镜头设计 | |
| 扫描线圈 | 2-段式电磁感应线圈 | |
| 原子序数衬度收集角控制 | 投影镜设计 | |
| 电磁图像位移 | ±1 μm | |
| 试片镜台 | 样品移动 | X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm |
| 样品倾斜 | 单轴-倾斜样品杆：±30°（标准镜头）, ±18°（高分辨率镜头（*）） | |
| 真空系统 | 3个离子泵，1个TMP | |
| 极限真空 | 10-8 Pa（电子枪）, 10-5 Pa（样品室） | |
| 图像显示 | 个人电脑／操作系统 | PC/AT兼容, Windows® XP |
| 监视器 | 19-inch液晶显示器面板 | |
| 图像帧尺寸 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素 | |
| 扫描速度 | 快扫，慢扫（0.5至320秒／帧） | |
| 自动数据显示 | 记录序号，加速电压，下标尺，日期，时间 | |
