美陆MIRTEC MS-11E SPI在线检测仪技术参数：

高度分辨率：0.1μm

高度精度：2μm（校正精度）

高度重复精度：± 1%（校正精度）

体积重复精度：± 2%（校正精度）

锡膏高度：最大450μm,最小40μm

PCB弯曲：±5mm

可检测：体积，区域，高度，XY坐标，桥连等等。

相机：1500万像素相机，3904*3904像素，

图像转换技术：120帧/秒

镭射PCB弯曲补偿：1μm/point

PCB最高间隙：25mm

PCB底部间隙：25mm

PCB最大弯曲：±3 mm

机器人坐标系统：XY轴：精密交流伺服驱动电动机系统

分辨率：1μm

重复精度：±10μm

PCB尺寸：50mm*50mm—-510mm*460mm

电源：单相220-240V,50-60HZ,1.1KW

气压：5kgf/C㎡(0.5Pma);71PSI

机器尺寸：W1080mm
*D1470mm *H1500mm

机器重量：950KG

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