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ERT光谱共焦传感器测量厚度
这个模式是用来测量单层透明样品的厚度的,传感器找出两个谱峰,分别是透明样品的两个面反射光(后向散射)形成的。如果如预期的检测到两个谱峰,传感器计算出第一个面的距离和光强(前表面,即,最近的面),第二个面的距离和光强(背面),还有厚度。所有这些数据同时可以用。
重要:为了能获得一个有效的测量数据,在厚度模式下,在传感器中应该设置正确的折射率。
距离和光强的含义和CCI/Distance模式一样。
Distance2和Thickness数据都取决于折射率参数。为了保证这些数据的真是性,传感器必须设置正确的折射率。特殊的,在CCI模式下,测得的厚度和折射率参数成正比。
备注:由于折射率的存在,实际测得的Thickness和Distance2可能比测量范围大。
5.3.1 最小可测量的厚度
待测样品的厚度必须大于或等于所用测头的 最小可测量的厚度 ,如果样品厚度小于这个界限,两个谱峰很接近使传感器无法分辨和解析它们,所
以传感器只能将两个谱峰当做一个峰值。最小可测量厚度正比于测量材料的折射率,电子目录中的值是对于折射率为1.5的样品来测定的。当测量一个气隙(折射率为1.0)时,测得的值应该除以1.5.
5.3.2 最大可测量厚度
待测样品的厚度必须小于或等于所用测头的 最大可测量的厚度 。如果样品厚度大于这个界限,两个谱峰距离很远使得至少一个超出了测头的量程。
最大可测量厚度正比于测量材料的折射率,电子目录中的值是对于折射率为1.5的样品来测定的,当测量一个气隙(折射率为1.0)时,测得的值应该除以1.5。