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Hitachi S-3400N
一、日立扫描电子显微镜S--3400N型的特点
1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品zui高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效。
二、日立扫描电子显微镜S--3400N型的技术指标
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项目 |
描述 |
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SE分辨率 |
3.0nm (30kV)，高真空模式 |
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BSE分辨率 |
4.0nm (30kV)，低真空模式 |
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放大倍率 |
x5 ~ x300,000 |
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加速电压 |
0.3 ~ 30 kV |
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低真空范围 |
6 ~ 270 Pa |
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zui大样品尺寸 |
直径200mm |
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样品台 |
I型 |
II型 |
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X |
0 ~ 80mm |
0 ~ 100mm |
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Y |
0 ~ 40mm |
0 ~ 50mm |
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Z |
5 ~ 35mm |
5 ~ 65mm |
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R |
360o |
360o |
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T |
-20o~ +90o |
-20o ~ +90o |
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zui大样品高度 |
35mm (WD=10mm) |
80mm (WD=10mm) |
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驱动类型 |
手动 |
五轴马达驱动 |
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灯丝 |
预对中钨灯丝 |
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物镜光栏 |
可移动式4孔物镜光栏 |
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枪偏压 |
固定比例偏压、手动偏压和自动4偏 |
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检测器 |
二次电子检测器 |
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分析位置 |
WD=10mm, TOA=35o |
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控制 |
鼠标、键盘，手动旋钮 |
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自动调校 |
自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度 |
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