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OR4000 多通道光纤测温仪 (OFT) 基于非常成功的 OR2000 产品系列开发,为众多温度测量应用提供了业界领先的非接触性温度测量。 OR4000T 向要求最苛刻的温度测量应用提供多通道功能和高达 2 kHz 的读取速率。 OR4000E 还增添了实时辐射率补偿功能。 该仪器采用模块化设计,能够快速调整以满足各个工艺应用的独特要求。
OR4000T 用于快速热处理 (RTP)、激光退火、高密度电浆化学气相沉积(HDP-CVD)、金属有机化学气相沉积(MOCVD)、原子层沉积 (ALD)、紫外线硬化、太阳能电池封装和硬盘 (HDD) 处理。
OR4000E 用于外延 (Epi)、化学气相沉积 (CVD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD)以及衬底发射率发生变化的其他工艺。
OR4000T 和 OR4000E 都提供了高速性能,读取速率高达 2 kHz,可以精确跟踪快速的温度变化。? 在动态应用中,这可以实现闭环温度控制并优化工艺良品率。