Keithley SMU 2650 系列高功率 SourceMeter® 是泰克(Tektronix)旗下专为高功率电子器件测试设计的精密仪器,主要面向研发、生产测试及可靠性验证领域。以下是其核心内容的详细总结:
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### **一、产品概述**
- **定位**:专用于高电压/电流设备及功率半导体(如二极管、IGBT、HBLED、太阳能电池、电池、GaN/SiC器件等)的检定与测试。
- **核心优势**:高功率(脉冲/直流)、高精度(6?位分辨率)、灵活性、易用性,支持复杂测试需求。
- **核心功能**:四象限电压/电流源/负载(可源或阱)、高精度电压表/电流表集成,支持瞬态与稳态测量。
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### **二、关键型号对比**
| **型号** | **2651A** | **2657A** |
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| **最大功率** | 脉冲2000W(±40V/±50A),直流200W(±10V@20A等) | 直流/脉冲180W(±3000V@20mA、±1500V@120mA) |
| **电流能力** | ±50A(脉冲) | ±120mA(高压模式) |
| **电压能力** | ±40V | ±3000V(高压模式) |
| **分辨率** | 100fA(电流)/100nV(电压) | 1fA(电流)/100nV(电压) |
| **应用场景** | 高电流设备(如功率半导体、HBLED、电迁移研究) | 高压设备(如3kV击穿测试、SiC/GaN器件漏电测试) |
| **价格** | 33,100美元 | 40,000美元 |
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### **三、核心功能与技术**
1. **四象限操作**:可同时作为源或负载(阱),支持正负电压/电流输出。
2. **高精度测量**:
- 2651A:100fA电流分辨率,2657A达1fA(业界领先)。
- 数字化模式(捕捉瞬态信号)与积分模式(稳态测量)可选。
3. **扩展性与集成**:
- **TSP-Link总线**:支持多台设备组合(2651A/2657A与2600B系列),扩展至32通道系统。
- **TSP脚本技术**:无需外部控制器即可编程复杂测试流程。
4. **高压/高功率脉冲**:2651A支持2000W脉冲功率,2657A支持3000V高压测试。
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### **四、软件支持**
1. **KickStart软件**:
- 无需编程,图形化界面控制仪器,实时显示数据(图表/表格)。
- 支持生成线性/对数/列表扫描,导出数据至Excel。
- **电池模拟器扩展**:可创建动态/静态电池模型,模拟VOC、SOC、ESR等参数。
2. **ACS自动化测试套件**:
- 支持Python脚本,适用于生产环境(晶圆测试、可靠性验证)。
- 提供数据管理、统计分析及自动化测试流程构建。
3. **远程控制**:内置Web服务器,通过浏览器远程操作仪器。
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### **五、配件与兼容性**
- **测试夹具**:
- 8010型高功率夹具、8020型接口面板:安全连接晶圆或封装器件。
- **兼容性**:与2600B系列SMU仪器无缝集成,支持混合系统搭建。
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### **六、服务与成本**
- **吉时利保障计划**:低成本快速维修服务,简化维护流程。
- **典型应用场景**:
- 半导体结温测试、高功率瞬态分析、电迁移研究、电池/太阳能电池特性分析。
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### **七、差异化亮点**
- **高压与高电流覆盖**:2651A专注大电流(50A),2657A专攻高压(3000V),满足多样化需求。
- **灵活性**:通过TSP-Link扩展多通道,适应从单设备到产线级测试。
- **易用性**:KickStart降低操作门槛,ACS提供深度定制能力。
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**总结**:Keithley 2650系列通过高功率、高精度及灵活的软硬件生态,成为功率半导体、新能源器件(如电池、太阳能电池)及宽禁带材料(GaN/SiC)测试的理想工具,兼顾研发效率与生产自动化需求。