二手日本光驰OTFC-1300光度镀膜机 光学蒸发镀膜机适合AR AF膜

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真空室:SUS304，Ф1550*1800MM
工件架:Ф1400
工件架转速:10rpm to30rpn(可变)
光学膜厚控制:HOM2--R-VIS350A
光学膜厚监控仪:
波长范围:350nm to1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源:2套日本电子16P双抢
离子源:23寸光驰RF离子源
排气系统:机械泵2个，扩散泵Polycold(或2个冷凝泵)275机械泵+爱德华配套罗茨泵
性能
达到压力:7.0x10-5Pa以下
排气时间:20分(大气压~1.3X10-3Pa)
基板温度:350C
工作条件
设备尺寸:药500n00)x7200n(D)X53700nn
电源:3相 200v 50/60Hz 约120KVA
水流量:180升/分以上
空气压力:0.5MPa以上

重量:约11000kg