半导体芯片测试高低温一体机:-65℃~250℃精准温控
半导体芯片测试高低温一体机:-65℃~250℃精准温控
产品价格:¥99999.00(人民币)
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    商铺名称:迈浦特机械(四川)有限公司

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    商品详情
      迈浦特机械高低温一体机设备采用双循环独立温控系统,高温循环(硅油介质)与低温循环(氟化液)通过板式换热器协同工作。低温侧采用复叠式压缩机制冷:一级压缩机将制冷剂降温至-40℃,二级进一步压缩至-65℃,制冷剂在蒸发器中吸收导热液热量,实现快速降温。高温侧由陶瓷电热管直接加热硅油,PID算法动态调节功率,抵消芯片测试中的瞬态发热(如功耗激增)。
      针对半导体测试需求,系统集成多通道温度反馈,通过Pt100传感器实时监测芯片表面温度分布,数据经RS485传输至测试平台。例如在IC老化实验中,可编程执行“-40℃→125℃循环1000次”,温变速率精准控制,避免因热应力导致虚焊。循环泵采用磁力驱动,流量0~50L/min可调,适配晶圆载具尺寸,确保温场均匀性±0.1℃
      • 温度范围:-65℃~250℃
      • 均匀性:±0.3℃(芯片表面)
      • 降温速率:2℃/分钟(水冷机型)
      • 通讯协议:RS485,支持SCPI指令
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