一、设备概述

TH510系列是专用于半导体器件?电容-电压（C-V）特性测试?的高精度分析仪，具备多参数测量、高速扫描及多通道扩展能力，适用于功率器件、集成电路等半导体元件的研发与质量控制。

二、核心性能特点

1. ?高效测试能力?

• ?双CPU架构?：LCR测试速度达0.56ms/次（1800次/秒），支持快速导通测试（Cont）。

• ?多参数同测?：可同步测量并显示寄生参数（Ciss、Coss、Crss、Rg）。

2. ?灵活配置?

• ?通道扩展?：标配2通道，可扩展至6通道，支持双芯片并行测试。

• ?测试模式?：点测、列表扫描（最多1001点）、图形扫描（选件）。

3. ?高精度与宽范围?

• ?电压范围?：VGS（±40V）、VDS（200V/1500V/3000V可选）。

• ?频率覆盖?：1kHz-2MHz，分辨率达0.01%。

三、典型应用场景

• ?器件测试?：MOSFET、IGBT、二极管等寄生电容及C-V特性分析。

• ?材料研究?：晶圆、液晶材料的介电常数与弹性常数测量。

• ?工艺优化?：通过C-V曲线评估半导体掺杂浓度与界面态密度。

四、技术参数摘要

五、操作与扩展功能

• ?校准与分选?：支持开路/短路/负载校准，10档分选（Bin）及PASS/FAIL指示。

• ?数据管理?：内部存储100M，外接USB保存设定文件、图形及记录。

该设备以一体化设计（LCR+高压源+通道切换）为核心，兼顾效率与精度，是半导体研发与生产的理想工具。