商铺名称：爱柯锐RGA残余气体分析仪
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RGA 残余气体分析仪
-分子束外延 MBE
-物理气相沉积 PVD
-化学气相沉积 CVD
-原子层沉积 ALD
-鉴别痕迹污染物 Identification of trace contaminants
-材料渗透率测试 Material pereability test
爱柯锐（ACT）公司一直致力于质谱研发与市场应用，公司研发团队来自于高校、研究所和真空行业，具有十年以上的研发经验。PGT系列是由专业团队自主研发的国产RGA。凭借对质谱研发的深入和独特的产品设计以及完善的服务体系，为不同领域的客户提供完整的应用解决方案。ACT已成为国内多家院校和半导体企业的优质合作伙伴，并且拥有稳定可靠的供应商体系，仪器在兼具高质量的应用中具性价比，是广大用户的理想选择产品。
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技术参数 |
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型号 |
PGT100F |
PGT100M |
PGT200F |
PGT200M |
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传感器长度 |
14.4cm |
19.6cm |
14.4cm |
19.6cm |
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质量数范围 |
100amu |
100amu |
200amu |
200amu |
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分辨率（1） |
<1amu |
<1amu |
<1amu |
<1amu |
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灯丝类型选项 |
涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝 |
涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝 |
涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝 |
双涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝 |
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检测器类型 |
FC |
EM |
FC |
EM |
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灵敏度（FC） |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
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灵敏度（EM） |
- |
3.8A/Pa |
- |
3.8A/Pa |
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最小可检测分压（2） |
3.5E-10Pa |
2E-12Pa |
3.5E-10Pa |
2E-12Pa |
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最大传感器工作温度（FC） |
200℃ |
N/A |
200℃ |
- |
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最大传感器工作温度（EM） |
- |
150℃ |
- |
150℃ |
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温度系数（3） |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
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最大烘烤温度 |
300℃ |
300℃ |
300℃ |
300℃ |
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最大数据速率/点 |
2ms |
2ms |
2ms |
2ms |
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最大工作压强 |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
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电源输入 |
24V（DC） |
24V（DC） |
24V（DC） |
24V（DC） |
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（1）在10%峰高处 （2）驻留时间为256ms情况下 （3）在8h的时间段内，半小时预热后，仅FC模式 |
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尺寸 |
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