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高精度气体分析仪 HiQuad® Neo
上海伯东德国普发 Pfeiffer 高精度气体分析仪 HiQuad® Neo 质量范围可选 1-512 u, 测量速度 125 μs/u, 使用 PV MassSpec 软件, 操作简单. Pfeiffer HiQuad® Neo 可作为独立设备集成在系统中, 适用于科研和各类分析系统. HiQuad® Neo 质谱分析仪模块化设计, 根据实际需要可以自由选择质量范围, 离子源, 放大器, IO 接口等.
高精度气体分析仪 Pfeiffer HiQuad® Neo 优势
模块化设计
使用 PV MassSpec 软件, 操作简单
优异的长期稳定性
灵敏度更高, 动态范围大
测量速度快 125 μs/u。
简单的系统集成 ( 通过 OPC-UA )
支持旧款 HiQuad® 升级为 HiQuad® Neo
质谱分析仪 HiQuad® Neo ( QMG 800 )基本组成
QMS 800: 机架控制单元与杂项板
QMH 800: 射频发生器
QMA 400/430: 四级杆分析仪
EP 822: 前置放大器
PV MassSpec software: 操作软件
质谱分析仪 HiQuad® Neo 技术规格
|
质量数 u |
1-300 |
1-512 *3 |
|
检测极限 hPa |
2X10-15 |
1X10-15 |
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Ar 灵敏度,低 *1) A/hPa |
2X10-4 |
5X10-4 |
|
最大工作压力 法拉第 hPa |
1X10-4 |
1X10-4 |
|
最大工作压力 SEV hPa |
1X10-5 |
1X10-5 |
|
分压比 SEV ppb |
<1 |
<0.5 |
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测量振动, 最小 |
125 μs/u – 60 s/u |
125 μs/u – 60 s/u |
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分析仪 |
QMA 430 |
QMA 400 |
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杆系统, 材料/直径 mm |
不锈钢 / 8 |
Mo / 8 |
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高频发生器 HF |
QMH 800-3 |
QMH 800-5 |
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测电计前置放大器 |
EP 822 |
EP 822 |
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分析仪工作温度 °C |
150 |
150 |
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分析仪烘烤温度 °C |
400 |
400 |
|
连接法兰 |
DN 63 CF-F |
DN 63 CF-F |
*1) 偏转单元中的法拉第, 单位分辨率, 带磁铁的交叉束离子源, 发射 1 mA
*2) 带磁铁, 极限 300°C
*3) 八小时内稳定性 < 0.1％, 对于质量 40 和 41 u, 对邻近质量的影响 < 0.1 ppm
质谱分析仪 HiQuad® Neo 应用
适用于更高精度要求和测量速度要求的 EUV 极紫外光刻的洁净度验证 , 科研和各类分析系统.
若您需要进一步的了解 Pfeiffer 质谱分析仪详细信息或讨论,
请联络上海伯东: 叶女士 13918837267
