Impedans射频异常打火检测器Alfven 100
品牌：Impedans
型号：Alfven 100
精确的射频等离子体异常打火检测和全面的射频脉冲监控

公司介绍：
Impedans是一家爱尔兰的射频和等离子处理智能传感器服务商，主要提供用于射频和等离子过程监控的智能传感平台。其服务涵盖多个领域，包括半导体、真空镀膜、医疗器械、硬盘和航空航天等。
Impedans的技术优势在于其先进的测量方法和高精度的数据采集能力，这使得其在等离子体处理领域具有较高的市场竞争力。通过提供高质量的传感器和测量设备，Impedans在多个工业领域中赢得了良好的声誉。

产品介绍：
Alfven 100是一款先进的、集射频等离子异常打火检测和射频脉冲监控为一体的诊断仪器，它能够以1微秒的分辨率实时处理射频信号。
该仪器被设计用来检测和表征射频等离子体异常打火现象，同时可监测每一个射频脉冲信号，以检查是否每个脉冲信号都符合设定值。
等离子体异常打火和失效脉冲可能导致晶圆缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和7×24小时监控的必要工具。

主要功能：
1μs采样分辨率，同时监测异常打火和脉冲信号(可调噪声过滤)。
可配置异常打火类型和失效脉冲信号类型。
监控每个脉冲的有效时间、脉冲频率和占空比。
报告用户设置的偏离限制的具体值。
“开关”和“高低”脉冲监控（可多达三级）。
监控脉冲期间可报告最大、最小和平均电压电流值。
“快照”功能查看在给定时间内的脉冲轮廓。
可设置配方，命令仪器自动调整设置，以同步监测复杂多步的等离子体过程。

主要优势和应用：
可快速确定是否由打火或失效脉冲导致的晶圆缺陷的原因。
脉冲“快照”功能可替代定向耦合器-示波器。
监控每个工艺步骤配方的平均脉冲频率和占空比。
实时监控每个工艺步骤的异常打火次数。
按要求进行微妙数据的实时报告。
软件通讯中断时仪器主板可暂时储存数据。
可生成摘要报告，方便后续查看。