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薄膜：涂层膜，塑料膜，物体色（防反射膜，PET,涂层，PE，PMMA，镀膜，蒸着膜，功能膜，亚克力树脂，磁带）
太阳能电池间隙，有机电致发光薄膜，校准薄膜，TFT.ITO,MgO,玻璃衬底防腐膜，高分子，功能膜及FPD的彩色膜；晶圆的厚度测量，薄膜（金属氧化物涂层，例如SiO2，SiC，Si，TiO2，氮化物涂层，涂光刻胶，打磨后的二氧化硅，DLC,光盘，碳）
金属与其他材料表面涂层：湿膜，干膜
光学干涉法膜厚检测仪 （台式）
A3-SR宽光谱反射式多功能测量系统利用光谱相干测量学原理，用于实验室检测各类薄膜涂层厚度（克重），也可以在膜厚测量中同时测量反射率（透射率）、目标颜色。
详细参数
特性
多达15点同时测量
无参照物工作
通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量
提醒及警报功能(通过或失败)
反射(透射)和光谱测量
高速、高准确度
实时测量
不整平薄膜精确测量
分析光学常数（n,k）
可外部控制
膜厚测量原理和特性
分光干涉法测量膜厚
当光入射到样品内部，会发生多重反射现象，多重反射光会由于相互之间的相位差增强或减弱，而相位差取决于样品的折射率和光程，因此来自于样本的反射光谱与其厚度有直接关系。光谱干涉法就是利用这种独特的光谱分析出样品的厚度，该厚度测量仪器根据测试范围的不同主要使用曲线拟合和FFT两种方法对光谱进行分析。
测量显示屏幕
参数
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型号 |
A3-SR |
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可测膜厚范围 |
20 nm to 100 μm*2 |
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测量可重复性 |
0.02 μm*3 *4 |
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测量准确 |
±1%*4 *5 |
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光源 |
氙灯 |
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测量波长 |
320 nm to 1000 nm |
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光斑尺寸 |
约φ1 mm*4 |
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工作距离 |
10 mm*4 |
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可测层数 |
最多10层 |
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分析 |
FFT 分析，拟合分析 |
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测量时间 |
19 ms/点*7 |
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光纤接口形状 |
SMA |
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测量点数 |
2~15 |
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外部控制功能 |
Ethernet |
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接口 |
USB 2.0（主单元与电脑接口） |
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电源 |
AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz |
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功耗 |
约330W（2通道）~450W（15通道） |
*1：-XX，表示测点数
*2：以 SiO2折射率1.5来转换
*3：测量400 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏差
*4：取决于所使用的光学系统或物镜的放大率
*5：可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中
*6：卤素灯型为C11295-XXH
*7：连续数据采集时间不包括分析时间
