美国进口QVI高精密光学三坐标影像测量仪 Precis 200
美国进口QVI高精密光学三坐标影像测量仪 Precis 200
产品价格：￥面议（人民币）
  • 规格： Precis 200
  • 发货地：美国
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    商品详情

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      ??? 全新的Precis? 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，采用了VMM 公司最先进的设计和技术。
      , 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐用以及可靠。

      • 扩展了Z轴范围?– 2.5mm, 5mm or 100mm
      • 透射照明?
      • 完整电子绘图?–?完全符合 SEMI S2?和 CE 标准
      • 符合人体工程学的操作员控制台?，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8?符合
      • 全自动显微镜，所有设置计算机控制
      • 最佳分辨率像素摄像头
      • VIEW Metrology Software (VMS?)?可测组件很广泛,?可选CAD导入?以及完整的几何尺寸和公差导入。
      • MMWin –?晶圆片?和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量,?滑块 ABS,光掩模和平板显示器.
      • ????????????????????????????????????? 标准????????????????????????可选
      • ? X,Y,Z行程(mm):????????200 x 200 x 5 ? ? ? ? ? ? ?200 x 200 x 100?
      • ? 最大载重:?????????????????12 kg
      • ? XY精度: ? ? ? ? ?????????? E1=(0.25+2L/1000)um
      • ? Z 精度: ? ? ????????? ? ? ? E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
      • ? 分辨率：????????????????????0.01 微米
      • ? 视场测量精度和重复性：0.01 μm (100x)
      • ??直流伺服马达驱动


      The all-new Precis? 200 incorporates the most advanced design and technology from VIEW-MM. Based on the proven Innova wafer metrology system from Micro-Metric, the new Precis includes a number of configurable options that make the system more versatile, serviceable and reliable:

      • Extended Z-axis range – 2.5mm, 5mm or 100mm
      • Transmitted illumination
      • Integral electronics drawer – fully compliant with SEMI S2 and CE standards
      • Ergonomic operator control station with hide-away keyboard tray, adjustable height and angle for control panel and display monitor, SEMI S8 compliant
      • Fully automated microscope with all settings computer controlled
      • Megapixel camera for optimum resolution
      • VIEW Metrology Software (VMS?)?allows a wide range of components to be measured, with the option of CAD translation and full geometric dimensioning and tolerancing.
      • MMWin – wafer and mask metrology software – ideal for critical dimension and overlay registration measurement for wafers, slider ABS, photomask and flat panel displays.
      • ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? Standard ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?Optional
      • ? X,Y,Z travel (mm): ? ? ? ? ? ? 200 x 200 x 5 ? ? ? ? ? ? ?200 x 200 x 100?
      • ? Max Recommanded load: 12 kg
      • ? XY Linear Accuracy: ? ? ? ? ? E1=(0.25+2L/1000)um
      • ? Z Linear Accuracy: ? ? ? ? ? ? E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
      • ? Resolution：???????????????????? 0.01 μm
      • ? Field of measurement accuracy and repeatability ：0.01 μm (100x)
      • ? Dc servo motor drive
        • Precis 主要用于以下应用：
        -         亚微米测量：
        ?? ◆?? 微器件和电子元器件封装、引线框
        ???◆?? 微型球状引脚栅格阵列封装
        ?? ◆?? 硬盘驱动臂、探针卡、刀片
        - CD 和套刻测量：
        ?? ◆? 线宽、涂覆层
        ?? ◆???MEMS 器件、接触窗、喷墨打印头
        ???◆?? 硬盘驱动头、磁头等

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    0571-87774297