商铺名称:北京汗盟紫星仪器仪表有限公司
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技术参数 | |
1. 分辨率 | 5nm(SE, 30kV), 8nm(BSE, 30kV) |
2. 放大倍率 | 20x ~ 100,000x |
3. 电压 | 1kv ~ 30kv(1/5/10/15/20/30) |
4. 探测器 |
SE (Secondary Electron) 二次电子 BSE (Back scattered Electron)背散射电子 |
5. 电子枪 | Tungsten Filament(cartridge)钨灯丝 |
6. 光阑 | 30,50,100,200um (Variable type) 4级可变光阑调节 |
7. 扫描图片像素 | 320×240, 640×480, 1,280×960, 2,560×1,920, 5,120x3,840 |
8. 样品台尺寸 |
X : 40mm, Y : 40mm, R : 360˚, Z : 0~35m, T : 0~45˚ / 5-axis * X,Y,R,Z - 4侧自动 / T - 1侧手动 |
9. 样品尺寸(直径/高度) | 80mm / 35mm |
10. 真空模式 | High Vacuum高真空系统 (Low Vacuum低真空系统可选) |
11. 真空时间 | 180sec(抽真空), 70sec(卸真空) |
12. 能谱系统 | EDAX(element) |