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膜厚测量仪是一款非接触式测量设备。采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描,主要是用来测量各种薄膜厚度、导电油膜厚度、涂胶厚度、涂层厚度等。专门解决工业上膜厚测量的问题,改善工艺,提高生产效率和质量。
最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s,先进的测量技术,专业的测量算法,±1um的高测量精度,±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。
膜厚测量仪型号及技术参数
型号 | CLS-T150 |
测量速度 | ≤50mm/s |
测量时间 | ≤2秒/次 |
测量点间距 | ≥1μm自由设置 |
测量精度 | ±1μm |
行程(X方向) | 15mm-40mm(可选) |
重复精度(X) | ±0.5μm |
量程(Z方向) | 400μm/1400μm/4000μm |
精度(Z) | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
最小可测厚度 | 1μm |
采样频率 | 100Hz-10kHz |
吸合电压 | 24V DC |
吸合时间 | 500ms |
主机输入电 | 90-264V AC |
主机额定功率 | 400W |
传感器输入 | 24V DC 3A |