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光学轮廓测量仪
3D表面形貌实时成像
2D和3D表面几何参数分析
计算多个距离，角度，点坐标，台阶高度的测量，孔体积测量
根据国际标准计算表面纹理特征，Ra，Rz，Sq，Smr……
微断面测量/均匀性分析/表面粗糙度分析/表面波纹度分析/表面形变分析/划痕分析/磨损分析
光学轮廓测量仪部分型号技术参数
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测头型号 |
OP0.1-Fa |
OP0.4-Fb |
OP1.4-Fb |
OP4.0-Fd |
OP12.0-Fd |
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量程 |
0.15mm |
0.4 mm |
1.4mm |
4.0 mm |
12.0 mm |
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工作距离 |
3.35mm |
11.0 mm |
12mm |
16.4 mm |
29 mm |
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光斑直径 |
2.7μm |
3.4 μm |
6.8μm |
7.2 μm |
16.5 μm |
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重量 |
195g |
190 g |
215g |
155 g |
175 g |
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分辨率 |
15nm |
8 nm |
100nm |
50 nm |
180 nm |
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精度 |
50nm |
80 nm |
240nm |
300 nm |
900 nm |
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最小可测量厚度 |
7.5μm |
16 μm |
38μm |
110 μm |
450 μm |
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最大可测量厚度 |
175μm |
510 μm |
2000μm |
5700 μm |
16500 μm |
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测量模式 |
距离和厚度 |
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采样速度 |
100 Hz to 2000Hz |
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数字输出 |
USB 2.0 and RS232 (up to 460800 baud) |
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数字分辨率 |
距离模式: 30 bits |
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厚度模式: 15 bits |
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同步 |
输入和输出0V - 5V TTL同步信号 |
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丰富的触发功能 |
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功能 |
«双频率»模式 |
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«LED自动调节»模式 |
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«抓第一峰»模式 |
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«保持最后值»模式 |
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«厚度校正» |
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电源/功耗 |
100V to 240 V AC 50-60 Hz / 25W |
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型号 |
SM-1000 |
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XY平台 |
平台大小 |
200X200mm |
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X和Y方向行程 |
100×100mm |
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分辨率 |
0.5μm |
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重复定位精度 |
＜1.4μm |
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最大允许负重 |
10Kg |
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扫描速度 |
≤12mm/s |
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扫描间距 |
0.2-72μm自由设置 |
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电器特性 |
适配器额定输入 |
100-240V AC 0.8A 50-60Hz |
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控制器额定输入 |
24V DC 1.5A(Max) |
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传感器输入 |
24V DC 3A |
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丰富的计测应用：
截面计测
在图像上任意位置划出的直线、曲线，可以计测截面的“高度”、“宽度”、“曲率半径”、“角度”和“截面积”等。
粗糙度计测
在图像上任意位置划出的直线、曲线或任意区域，可以做“线粗糙度”或“面粗糙度”测量。
三维计测
可以测量图像上的任意指定区域的体积和表面积，可以对两个相似物体之间比较计测。
二维计测
在平面图像上可以任意点选计测部位，测量“距离”、“角度”和“点坐标”等数据。
台阶高度自动计测
可以自动识别台阶并测量高差，可以设定公差范围并自动判别是否超差。
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