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光谱共焦位移传感器 CDS-200 OP2-Fc广泛应用于物体位移、振动、形变、透明体厚度等各种高精度非接触式测量。
光谱共焦位移传感器原理
光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。光谱共焦法的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲，也可以进行高精度的测量，测量点不会改变。
光谱共焦位移传感器 CDS-200 OP2-Fc典型应用：
微位移振动测量 压电驱动器微位移振动测量，磁致伸缩位移，生物力学形变
精确定位 LAMOST光纤定位，平面的定位等
旋转体跳动测量 机床主轴跳动 球面镜旋转跳动等
透明体厚度测量 玻璃厚度，透镜厚度，膜厚，水膜厚度等
轮廓/3D形貌测量 透镜轮廓扫描，磨损量测量，3D形貌扫描等
光谱共焦位移传感器 CDS-200 OP2-Fc型号技术参数
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型号 |
CDS-200 |
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测头 |
OP2-Fc |
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量程(mm) |
0.4 |
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工作距离(mm) |
10.8 |
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光斑直径(μm) |
8.8 |
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重量(g) |
189 |
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分辨率(nm) |
25 |
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精度(nm) |
40 |
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最小可测量厚度(μm) |
22 |
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最大可测量厚度(μm) |
510 |
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测量模式 |
距离和厚度 |
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采样速度 |
100 Hz to 2000Hz |
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数字输出 |
USB 2.0 and RS232 (up to 460800 baud) |
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数字分辨率 |
距离模式: 30 bits |
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厚度模式: 15 bits |
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同步 |
输入和输出0V - 5V TTL同步信号 |
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丰富的触发功能 |
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功能 |
“双频率”模式 |
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“LED自动调节”模式 |
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“抓第一峰”模式 |
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“保持最后值”模式 |
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“厚度校正” |
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电源/功耗 |
100V to 240 V AC 50-60 Hz / 25W |
光谱共焦位移传感器 CDS-200 OP2-Fc应用
微 位移、微形变高精度测量
超高线性度，可以作为传感器的标定使用
通过长度测量可以测量计算难以获取的微小应变
纯光学测头，不会受到强磁干扰，无温度散发，可以在真空中使用
在线检测
高测量速度和开放的接口，可以应用于生产线相关的检测或控制系统
色散原理具有超高的耐表面性，高光洁表面也可以稳定检测
侧视测量，可以测量最小直径7mm的微孔侧壁形貌
测振计
高速的测量频率和纳米级的分辨率，可以应用在物体的振动测量
厚度测量
独创的色散共焦成像原理可以测量透明材料的厚度，具有极高的精确度
液位控制
非接触式测量，可以对液位进行检测和测量
表面形貌扫描
符合新的ISO25178规定，最高能够测量几纳米以下表面粗糙度
非接触式粗糙度测量，对表面没有任何影响
连接三维扫描设备，能够实现复杂表面的亚微米级精度的2D和3D测量
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