CPS-7000低温真空探针台利用液氮/液氦制冷，对样品进行无损测试，可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，系统可提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。

技术规格

温度范围：80k-475（液氮制冷），4.2k-475k（液氮制冷）

选配低温选件后，温度可降低到3.2K；选配高温选件，温度范围为20k-675k；控温稳定性：+50mK；

制冷剂消耗:<1.5L/hr@LHe   <0.5L/hr@LN2;

降温时间：液氦~30min to 10k，~60min to 5k；液氮~45min to 110k， ~60min to 80k；

最大测试样品尺寸：直径51mm；

频率范围：测量DC到67GHz；

XYZ位移平台形成与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；

真空环境：10^-5-10^-6mbar

顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）；

4个直流探针臂，最多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三个同轴接头及配套电缆。

■ 显微成像装置
便于观察微型样品测量，设有聚焦视觉系统，LCD19监视器、USB Camera位移台的Monoscopes光学观测组件，选择合适的放大倍率和光源，可以清晰查看探针针尖位置，以便准确无误的进行样品测试；

■ 探针台
将样品放入探针台，通过调节探针杆控制探针夹持样品进行测量，可以通过顶部玻璃观察窗观察样品情况和探针位置；

■ 三维位移台
X/Y/Z驱动距离分别为50/25/25mm，X是导入杆轴向，Y是导入杆水平径向，Z是导入杆上下方向。三维位移台搭配压缩波纹管，实现真空环境下三维调整，两者中间连接电极安装座，可以适配不通接口的真空feedthroughs；

■ 气动隔振台
采用低固有频率的空气弹簧作为振动隔离材料，并在支撑架上安装了三个水平自动调节阀，以搭载低温探针台进行隔离振动干扰实验。