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CPS-8000探针台是一个低成本且不需要低温制冷剂的探针台,它对样品实现非破坏性的测试,样品的最大尺寸达到51mm(2inch)。它是测量材料或样品的电学特性、光电特性、参数、high Z、DC、RF和微波特性的测试平台。在CPS-8000平台中进行测量,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是比较典型的材料。探针台可以配置探针、测试电缆、样品支架等多种类型组件,从而满足你的特殊测试应用。
技术规格
温度范围:10k-325k(10K GM制冷机),4.5K-325K(4K GM制冷机);
高温选件温度范围:50k到500K;控温稳定性:+50mK;
降温时间:~3-4hours;
最大样品尺寸:直径50mm;
频率范围:测量DC到67Ghz;
真空环境:~10-5-10-6mbar;
XYZ位移平台形成与精度:X轴51mm,精度20μm;Y轴25mm,精度10μm;Z轴25mm,精度10μm;
顶部光学观察窗:标准2.0‘’(51mm);
四个直流探针臂,最多可使用6个探针臂,每个探针臂上配有三个同轴接头及配套电缆。
■ 显微成像装置
便于观察微型样品测量,设有聚焦视觉系统,LCD19监视器、USB Camera位移台的Monoscopes光学观测组件,选择合适的放大倍率和光源,可以清晰查看探针针尖位置,以便准确无误的进行样品测试;
■ 探针台
将样品放入探针台,通过调节探针杆控制探针夹持样品进行测量,可以通过顶部玻璃观察窗观察样品情况和探针位置;
■ 三维位移台
X/Y/Z驱动距离分别为50/25/25mm,X是导入杆轴向,Y是导入杆水平径向,Z是导入杆上下方向。三维位移台搭配压缩波纹管,实现真空环境下三维调整,两者中间连接电极安装座,可以适配不通接口的真空feedthroughs;
■ 气动隔振台
采用低固有频率的空气弹簧作为振动隔离材料,并在支撑架上安装了三个水平自动调节阀,以搭载低温探针台进行隔离振动干扰实验。
标准配置:
低温真空探针台:包含探针台、显微成像装置、三维位移平台、阻尼隔振台、GM制冷机
选购件:气动隔振台、阻尼隔振台、3.2K低温选件、高温选件、带充气增压杜瓦瓶、电动控制杜瓦瓶、泵管道隔震装置、无油压缩机、机械泵、分子泵机组等。