SNE-3200M台式扫描电镜

◎ 最大放大倍率6万倍

◎ SE(2次电子) + BSE(背散射电子) Multi Detector

◎ 按照样品的特性可切换分析方式

◎ 支持High + L0ow Vacuum (高+低真空) 系统

◎ 样品更换后，影像的获取时间为2分钟

◎ 非导电样品无需喷金处理Non-Coating 实现样品分析

详细参数：

A.技术参数

1.分辨率：15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

1.放大倍率：30x~60,000x (有效放大倍率30,000x)

2.加速电压 :

5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

3.图像：

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

4.Observation mode: Standard Mode

Charge-up reduction mode

5.电子枪系统:

灯丝类型：预对中钨灯丝

偏压系统：自动偏压方式

电子枪校正：手动方式

6.透镜构成

i.聚光镜 : 2段式磁线圈透镜

ii.物镜 : 1段式磁线圈透镜

7.探测器类型

E-T Detector

8.载物台系统：3轴操控

- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360°

9.Image shift:X, Y Image Shift (100㎛)

10.样品最大尺寸:

50mm in diameter, 20mm in height

11.图像扫描速度

1.快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

2.低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

3.图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

4.图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

12.自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

13.图像存储方式

BMP, JPEG, PNG

14.数据显示

放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，文本，标尺等

15.真空系统

全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

-（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

-（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/80Liters/sec

抽真空时间：2分钟以内

16.操控系统：鼠标和键盘

17.运行系统：电镜专用笔记本电脑

-OS : Microsoft Window 7

-CPU : Intel Core^TMi5 or High version

-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

18.软件：

-图像文件打开，编辑，存储功能

-长度，面积，角度等测量功能

-设置数值初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等

19.体积：

设备主机-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

20.重量：90kg

21.设备环境：

-温度：15℃~30℃

-湿度：70% or less

-电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz

B.配件

1.预对中钨灯丝: (5pcs/box)

2.载物台

i.15mm dia. (10 pcs)

ii.25mm dia. (10 pcs)

iii.15mm 45° Tilt (5 pcs)

iv.15mm 90° Tilt (5pcs)

3.真空润滑油 1ea

4.高度基准模块 1ea

5.6角扳手 1set

6.扫描电镜软件修复用CD 1ea

7.银胶(Silver Paste) 30g1ea

8.碳导电胶带1roll

9.剪刀 1ea

10.洗耳球 1ea

11.镊子 1ea