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SM5651/SM5652微差压传感器
SM5600系列为陶瓷基底贴装高稳定压阻压力传感器芯片，利用陶瓷基底上的厚膜电阻可进行零度校正和温度补偿。SM5651在恒流驱动下采用外加平衡电阻对差动放大器的输出进行校正。而SM5652在恒压激励下对输出信号进行调整。
SM5651采用恒流激励，SM5652采用恒压激励。
特性 应用
● 低压（0-0.15psi FS到0-3.0 FS）
● 恒流或恒压激励 ● 医疗设备
● 易于采用双列封装（DIP） ● 呼吸机
● 宽范围温度补偿（0-60℃） ● HVAC
● 校正度可达±%2 ● 液位仪
● 零压校正 ● 流量计
● 高性能硅芯片 ● 工业控制
● 表压、差压和绝压配置 ●微差压变送器
SM5651/SM5652性能指标及测试条件
SM5651 Iexc=1.5mA；Vexc=10Vdc T=25℃
参数 |
最小值 |
标准 |
最大值 |
单位 |
激励 |
|
|||
电流（SM5651） |
0.00 |
3.00 |
mA |
|
电流（SM5652） |
0.00 |
10.00 |
20.00 |
V |
输出 |
|
|||
SM5651* |
25.0 |
45.0 |
75.0 |
mV |
SM5652** |
24.5 |
25.0 |
25.5 |
mV |
零压 |
-2.00 |
±0.20 |
2.00 |
mV |
温度特性 |
|
|||
满量程 |
-0.65 |
±0.2 |
0.65 |
%FS |
零点 |
-1.00 |
±0.2 |
1.0 |
%FS |
温度滞后 |
|
±0.05 |
0.30 |
%FS |
精度 |
|
|||
线性度 |
-0.30 |
±0.05 |
0.30 |
%FS |
重复性 |
-0.30 |
±0.05 |
0.30 |
%FS |
压力滞后 |
-0.30 |
±0.05 |
0.30 |
%FS |
灵敏度匹配 |
-2.00 |
±0.20 |
+2.00 |
%FS |
电阻（SM5611） |
|
|||
Z输入 |
1.8 |
3.00 |
3.80 |
KΩ |
Z输出 |
2.70 |
3.30 |
3.80 |
KΩ |
电阻（SM5612） |
|
|||
Z输入 |
4.50 |
8.00 |
25.00 |
KΩ |
Z输出 |
2.00 |
2.50 |
3.80 |
KΩ |
温度范围 |
|
|||
校正 |
0 |
|
60 |
℃ |
使用 |
-40 |
|
125 |
℃ |
|
-5储存5 |
|
125 |
℃ |
动态特性 |
|
|
|
|
耐压 |
10% |
|
|
FS |
瞬间压力 |
15% |
|
|
FS |
*芯片底孔压力定为负压；出厂校准时增益设为负压
**SM5652,015psi动态范围从23.75~26.25
***测量范围0~60℃
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