数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。
　　数字式四探针测试仪赠设测试结果分类功能，最大分类10类　　数字式四探针测试仪所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；自动转换量程；测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长；测试结果由数字表头直接显示。
   数字式四探针测试仪基本技术参数：
1. 测量范围、分辨率电阻：1.0×10-3 ～ 200.0×103  Ω,    分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103  Ω电 阻 率：     10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103  Ω-cm方块电阻：     10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□  分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103  Ω/□
2. 可测半导体材料尺寸直        径：  测试台直接测试方式 Φ15～130mm，其他方式不限.长（或高）度：  测试台直接测试方式 H≤160mm,    其他方式不限.
3. 量程划分及误差等级量程 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0
kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
误差 ±0.5%FSB±1LSB（在各量程范围内），超量程或欠量程可测量，但误差将随超欠程度而变大
4. 工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W5) 外形尺寸：W×H×L=20cm×7.5cm×18cm净   重：≤1kg .