单面自动紫外光刻机

型号：URE-2000/35A

简单介绍：光刻机：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光机, 该型号光刻机创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用创新技术积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
二．技术参数
1、曝光面积：150mm×150mm
2、分辨力：1μm（胶厚2mm的正胶）
3、对准精度：：±0.5μm
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、样片尺寸直径Ф15mm--Ф100mm(可适应非标准片或碎片)
7、厚度0.1mm-6mm(可扩展为15mm)
8、照明均匀性：±3.5（Ф100mm范围）
9、掩模相对于样片运动行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞灯功率：350W（直流）
11、曝光波长：365nm（进口汞灯）
12、曝光能量密度：25mW/cm 可以根据需要增强或调弱(420nm以上波长小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定时（到计时方式0.1s—999.9s）