商铺名称:东莞市宏诚光学制品有限公司
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产品参数 | |||
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重量 | 8500 | ||
真空室 | 1600*1800 | ||
工件架 | 1600 | ||
工件转速 | 10rpm to 30rpm( | ||
膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A | ||
波长范围 | 350nm to 1100nm | ||
蒸发源 | 2套 | ||
离子源 | 射频23cmRF | ||
达到压历 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
排气时间 | 20分 | ||
基板高温 | 350℃ | ||
电源 | 3相 | ||
200V | |||
50/60Hz | |||
水流量 | 180升/分以上 | ||
空气压力 | 0.5MPa以上 | ||
品牌 | 光弛 |