商铺名称:南京滨正红仪器有限公司
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产品参数 | |||
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品牌 | 南京滨正红 | ||
产品特性 | 防腐金杂低 | ||
是否进口 | 否 | ||
产地 | 江苏南京 | ||
规格型号 | FY-PTFE-HL | ||
生产厂家 | 南京滨正红仪器有限公司 | ||
用料 | 高纯PTFE | ||
使用温度 | -200至250℃ | ||
性能 | 耐强酸腐蚀 | ||
优势 | 尺寸、造型可定制 | ||
特点 | 金杂低,污染小 | ||
应用实验 | 晶圆、芯片、硅片清洗 | ||
适配产品 | 特氟龙清洗槽 | ||
造型设计 | 方形,单片装 | ||
颜色 | 纯白色 | ||
可售卖地 | 全国 | ||
用途 | 去除晶圆芯片等表面杂质 |
在半导体制造过程中,清洗架、清洗花篮和载具是确保晶圆、芯片、硅片、太阳能电池片、玻片等洁净度的关键工具。清洗架承载着晶圆等,再浸入清洗液中,清洗掉晶圆等表面的金属杂质污染和颗粒残留。
聚四氟乙烯清洗架/花篮/载具的特点
1、镂空设计:采用蜂窝状或网格结构,确保清洗液充分接触晶圆表面,同时避免积液
2、低溶出:选用高纯聚材料制成,金属离子杂质溶出析出很低,污染小
3、化学性能稳定:耐强酸强碱和有机溶剂腐蚀
4、可定制各种造型和尺寸,以适配方形、圆形等不同规格片子
聚四氟乙烯清洗载具可满足先进半导体制造对洁净度与可靠性的高要求。在2nm及以下节点和第三代半导体(GaN、SiC)领域,此类清洗载具将成为提升晶圆、芯片等良率的关键耗材。