商铺名称：东莞市宏诚光学制品有限公司
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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 光弛 | ||
| 功能 | 自动 | ||
| 重量 | 8500kg | ||
| 离子源 | 23cmRF | ||
| 达到压力 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
| 排气时间 | 20分（大气压～1.3×10-3?Pa) | ||
| 基板温度 | 350℃ | ||
| 水流量 | 180升/分以上 | ||
| 电源 | 3相200V | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 材质 | 不锈钢 | ||
| 型号 | otfc1800 | ||
日本光弛otfc1800镀膜机 射频离子蒸发电镀机 双光电子束真空电镀膜机
机械特点：
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵 低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
设备尺寸：
设备型号 OTFC-1800CBI/DBI
真空室SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架φ1600mm
工件架转速10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计XTC/3 6点式石英晶体传感器
蒸发源电子枪2套
离子源23cmRF离子源
排气系统机械泵 2个扩散泵 Polycold（或2个冷凝泵）
机械性能：
达到压力7.0×10-5 Pa以下
排气时间20分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度：350℃
设备尺寸约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
工作条件：
电源3相, 200V, 50/60Hz,约150kVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约11200kg
