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邮编：200233
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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 英文名 | wafer robot | ||
| 品名 | 晶圆机械手 | ||
| 轴数 | 4轴 | ||
| 产地 | 中国 | ||
| 机械手臂标准臂长 | 160mm | ||
| 200mm | |||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 晶圆固定方式 | 真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 | ||
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 | ||
| 手臂 | 双臂 | ||
| 到达距离 | 315mm | ||
| 升降轴最大行程 | 300mm / 400mm / 500mm | ||
| 可搬运质量 | 4kg | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 类型 | 圆柱坐标型 | ||
| 型号 | MTCR4160 | ||
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wafer robot晶圆机械手_4轴圆柱坐标洁净机械臂MTCR4160特点：
超洁净无尘间用300mm晶圆对应MTCR4000系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求
比MTHR系列具有更好的性价比优势
机械手臂标准臂长:160mm, 200mm
双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
4轴圆柱坐标洁净机械手臂MTCR4160基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 双臂
到达距离 315mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬运质量 4kg (手臂第3关节处基准)
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