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商铺名称：米歇尔集团上海工程技术有限公司
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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 米歇尔MICHELL | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 规格 | 1mm | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 型号 | URE-2000/25 | ||
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紫外高精密光刻机
1、曝光面积：110mm×110mm
2、分辨力：0.8μm（胶厚2mm的正胶）
3、对准精度 ±0.5μm
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm; Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、样片尺寸直径Ф15mm--Ф100mm (可适应非标准片或碎片)
7、厚度0.1mm-6mm (可扩展为15mm)
8、照明均匀性：±2.5（Ф100mm范围）
9、掩模相对于样片运动行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞灯功率：350W（直流）
11、曝光波长：365nm
12、曝光能量密度：35mW/cm 可以根据需要增加或减弱调节
13、曝光方式：定时（到计时方式0.1s—999s）
