单面紫外光刻机

型号：URE-2000/25

简单介绍：光刻机：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光机, 该型号光刻机创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用创新技术积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。

一．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动型）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）采用创新技术——积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应和实现均匀照明；

1、采用三爪和球气浮同时找平，无论大片、小片调平精度均高；

2、具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；

3、自动分离对准间隙和消除曝光间隙，间隙分离可达500μm；

4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储；

5、电机机构、弹性元件和传感器保证接触曝光压力合适且重复性好；

7、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量35mW/cm ，能量方便可调，温度小于30度）；