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产品参数 | |||
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二手新柯隆磁控溅射镀膜机RAS-1100C/多层反射膜靶材真空电镀机转让 产品特性 | 磁控电镀机 | ||
新旧程度 | 9成新 | ||
设备所在地 | 东莞 | ||
设备生产产地 | 日本 | ||
产品数量 | 3 | ||
可售卖地 | 全国 | ||
型号 | RAS-1100C |
二手新科隆溅射镀膜机RAS-1100C是一款受到市场认可的镀膜设备。它基于真空蒸镀原理工作,能在真空中将膜料加热蒸发,并在基片表面凝结形成薄膜,具有高精度、高稳定性和高重复性等优点,适合科研机构、大学、企业进行材料科学研究、器件制造及表面处理等工作。成色如图,功能完好无维修。适合各种镀膜需求,稳定可靠。提供详细设备参数和运行说明,有任何问题欢迎咨询。支持上门看货或视频看货,外地协商发货方式。有专业技术团队上门安装调试培训教工艺等服务,快进快出销售,价格全市场做到优势,诚心要的老板私聊技术杨经理181-030-45976#专业真空电镀机#磁控溅射电镀机#蒸发电镀机#多弧电镀机
一、磁控溅射镀膜工艺流程:
1. 准备工作:
在进行磁控溅射镀膜之前,首先需要进行准备工作。包括清洗基材、安装目标材料、安装溅射靶材料、设置真空系统、调试设备等。确保工艺设备的正常运行和有效的材料供应。
2. 抽真空:
启动真空设备,将镀膜室内的气体抽取出来,以创建一定的真空环境。通常需要将气体抽取至达到良好的真空度,以避免氧气等杂质对镀膜过程的影响。
3. 加载基材:
将待镀膜的基材放置于镀膜室中,通常在基材表面经过预处理,如清洗去除表面的污垢,以提供一个良好的镀膜基础。? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 4. 靶材预处理:
靶材是用来提供镀膜材料的源头,通常需要经过靶材的清洗、抛光等预处理工序,确保靶材表面干净、光滑,并增加靶材的寿命和镀膜质量。
5. 设置基材和靶材的相对位置:
在镀膜室中设置基材和靶材之间的相对位置。一般采用夹具或旋转台等装置来控制基材和靶材的距离和角度,以实现均匀的镀膜效果。
6. 开始溅射镀膜:
通过施加一定的电压和电流,激活靶材,使其表面的材料被离子化。离子化的材料会在真空环境中以高速运动,并沉积在基材的表面上,形成薄膜层。同时,通过磁场作用,将离子束引导到基材表面,以增加镀膜的均匀性。? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?7. 控制镀膜参数:
在镀膜过程中,需要控制多个参数,包括溅射功率、工作气体流量、溅射时间等。这些参数的调节可以影响薄膜的成分、结构和性能。通过对这些参数的优化,可以得到所需的薄膜材料。
8. 结束镀膜:
镀膜过程达到预定的条件后,停止供应靶材的电源和气体,完成镀膜过程。
9. 卸载基材:
将已经完成镀膜的基材从镀膜室中取出,并进行必要的后处理,如清洗、检测等。
二、磁控溅射镀膜工艺原理:
磁控溅射镀膜工艺利用电弧的热能将靶材表面的原子或分子离子化,并沉积在基材表面上,形成薄膜层。具体的工艺原理如下:
1. 靶材激活:
通过外加电压和电流,激活靶材,使靶材表面的原子或分子离子化。通常采用直流或射频电源提供电能,激活靶材并维持离子束的稳定。
2. 离子束引导:
在镀膜室中施加一定的磁场,通过洛伦兹力将离子束引导到基材表面。磁场的作用可以控制离子束的运动轨迹,增加镀膜的均匀性。
3. 碰撞与沉积:
离子束以高速运动,在基材表面碰撞并沉积。碰撞过程中,离子的能量会释放出来,提供热能进而使基材表面的材料溶解并沉积。? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?4. 形成薄膜:
通过重复碰撞和沉积的过程,逐渐在基材表面形成一个尺寸薄的薄膜层。这一过程可以控制镀膜的厚度、成分和结构。
总结起来,磁控溅射镀膜工艺流程包括准备工作、抽真空、加载基材、靶材预处理、设定相对位置、溅射镀膜、控制镀膜参数、结束镀膜和卸载基材等步骤。工艺原理是利用电弧将靶材的材料离子化,并通过磁场引导离子束到达基材表面,形成薄膜层。这种工艺可以制备出具有高硬度、耐磨损、耐腐蚀性能的薄膜材料,广泛应用于表面处理和功能材料制备领域。