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光谱共焦位移传感器的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或曲翘,也可以进行高精度的测量,测量点不会改变。而传统的三角测距法,随着高度的不同,测量位置或者光斑大小会发生改变。
透明体的平整度和厚度可以同时测量。以往玻璃、薄膜行业测量厚度都是用卡尺人工抽样检测,如果是较大的基板就无法任意检测各个位置,并且用卡尺测受人为影响非常严重。非接触式光学测量,可以在线测量大尺寸玻璃或薄膜的厚度和平整度。
光谱共焦位移传感器典型应用:
微位移振动测量 压电驱动器微位移振动测量,磁致伸缩位移,生物力学形变
精确定位 LAMOST光纤定位,平面的定位等
旋转体跳动测量 机床主轴跳动 球面镜旋转跳动等
透明体厚度测量 玻璃厚度,透镜厚度,膜厚,水膜厚度等
轮廓/3D形貌测量透镜轮廓扫描,磨损量测量,3D形貌扫描等
厚膜电阻检测的应用:
厚膜电阻在湿润状态下,采用光谱共焦位移传感器进行非接触式检测,线速度可达12mm/s,在自动化生产中应用可以极大提高效率。
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