光谱共焦位移传感器具有超强的角度特性，最大可测倾角87°，由于其同轴共焦原理，所以无像差干扰问题，即使被测物有过大倾角也不会影响测量精度。
镜面、透明、半透明体表面也可以有超强的角度特性，使用光谱共焦位移传感器，无需严格的角度调整就可以进行高精度测量。即使被测物在运动过程中的跳动也不会对测量造成过大的影响。

光谱共焦位移传感器可高精度测量透明体厚度，并可同时测量不同层面位置值。透明体上下表面均会有一个焦点存在，获取上表面和下表面位置值，上下表面的位置差即是透明体的厚度值。
 
透明体的平整度和厚度可以同时测量。以往玻璃、薄膜行业测量厚度都是用卡尺人工抽样检测，如果是较大的基板就无法任意检测各个位置，并且用卡尺测受人为影响非常严重。非接触式光学测量，可以在线测量大尺寸玻璃或薄膜的厚度和平整度。

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