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1、平晶干涉法:用光学平晶的工作面体现理想平面,直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面,如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。
该测量仪适用于对任何平面物体进行平面度测量。其原理是以测量仪为中心的一个平面上平均分布3个测量点,测量时,传感器从3个测量点测量出高度位移差,经微型计算机采集并处理,使其显示在显示屏上,从而得知这3个点所处的位置的平面度。