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成都莱峰科技专业生产微小,中,超大量程的气体质量流量控制器,得到广大气体质量流量控制器用户的深度好评。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计的简要描述:用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制,具有精度高,稳定性好,模拟电路,可靠性高,安装简单,操作方便。
技术参数:
产品型号 |
LF420-SC |
LF420-SM |
满量程范围 |
SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500 SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
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量程比 |
控制器50:1 |
流量计100:1 |
精度 |
±1.0%F.S |
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线性 |
±0.5%F.S |
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重复性 |
±0.2%F.S |
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阀门类型 |
常闭阀 |
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响应时间 |
≤1S-3S |
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工作压差 |
0.1...0.5Mpa |
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最大耐压 |
3MPa |
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工作环境温度 |
5...45℃ |
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泄漏率 |
1×10-8Pa.m3/s |
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通信信号 |
0-5V / 4-20MA |
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供电方式 |
24VDC(250mA) |
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密封材料 |
丁晴橡胶 氟橡胶(可选) |
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接头尺寸 |
3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” |
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电器接头 |
DB9针 |